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四端口微波反射計（見駐波與反射測量）的基礎上發展起來的。在60年代中期實現自動化，利用計算機按一定誤差模型在每一頻率點上修正由定向耦合器的定向性不完善、失配和竄漏等而引起的誤差，從而使測量精確度大為提高，可達到計量室中精密的測量線技術的測量精確度，而測量速度提高數十倍。
1973年又研制出六端口網絡分析儀。它利用一個由定向耦合器和混合接頭（魔 T）組成的六端口網絡作為測量單元，除二個端口分別接信號源和被測件之外，其余四個端口均接到幅值檢波器或功率計。通過檢出的四個幅值的適當組合，可以求出被測網絡散射參數的模和相位。它不必使用復雜的雙通道接收機來取得相位信息，從而使測量系統的硬件大為簡化。此外，它有超過必需數目的冗余測量端口，可以利用冗余數據之間互相核對來提高測量結果的可信性。但它的計算工作比四端口網絡分析儀要復雜得多。采用雙六端口網絡分析儀來測量雙端口網絡，即用一個六端口網絡儀接在被測網絡的端口1，另一個接在端口2，可在測量過程中避免開關轉換或人工倒轉被測網絡的輸入端和輸出端，進一步提高了測量的精確度。
